Conception d'un réacteur CVD chauffé par induction pour la synthèse de nitrure de bore hexagonal
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
Université Sorbonne Paris Nord, Université Sorbonne Paris nord
Conception d'un réacteur CVD chauffé par induction pour la synthèse de nitrure de bore hexagonal
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux Université Sorbonne Paris Nord, Université Sorbonne Paris nord
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