Conception d'un réacteur CVD chauffé par induction pour la synthèse de nitrure de bore hexagonal
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
Université Sorbonne Paris Nord, Université Sorbonne Paris nord
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Conception d'un réacteur CVD chauffé par induction pour la synthèse de nitrure de bore hexagonal
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux Université Sorbonne Paris Nord, Université Sorbonne Paris nord
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